MEMS传感器从诞生到现在已经有40多年的历史，并且已经成为国内传感器企业争相追逐的目标之一。虽然国外先行一步，但是国内传感器企业和MEMS工艺主流生产线也在逐步浮出水面，且为国内MEMS产业发展助一臂之力。

下面盘点目前公开信息可查的本土主要的MEMS产线，涵盖晶圆代工厂和IDM产线的最新情况跟踪如下（排名不分先后）：

上海微技术工研院——国内首条8吋“超越摩尔”研发中试线

2017年12月1日，上海微技术工业研究院（以下简称“工研院”）运营的8吋“超越摩尔” 研发中试线首款传感器产品获得验证通过，正式宣告研发中试线通线成功。

图：上海微技术工研院8吋 “超越摩尔” 研发中试线

研发中试线着重开展表面硅、体硅、3D微纳加工工艺的开发，并根据“超越摩尔”产品和技术特点部署MEMS、硅光子、射频、硅基III-V族、3D集成、MR磁、功率及生物等相关工艺和量测设备，提供全方位的产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务，月产能5千片。

苏州纳米城——6吋MEMS中试线

该中试线是江苏省“十二五”重大科技平台项目。2014年9月正式运营，为我国中小MEMS企业的发展带来福音。超净场地、厂务配套设施、研发实验室、公共服务等场地共16000平方米，其中超净工艺场地5200平方米。

其主要开展MEMS产品工艺研发、MEMS加工、部分封装测试、专利运营、设备租赁、超净场地租赁、工艺技术培训等十多项专业服务，目前已成功导入压力传感器、微镜传感器、微流体传感器等产品。

苏州纳米所——纳米加工平台

纳米加工平台适用于微纳电子、光电子器件、微纳光机电系统、各种传感器和生物芯片等研制开发。针对应用基础和具有应用前景的科学与技术研究，集微米、纳米加工和检测手段于一体，具有先进的、有特色的加工装备的研究基地；具有孵化器功能，为企业全方位开放的服务体系。

约5000平方米的洁净间，包括百级和千级面积，以及150多台各种微加工设备，最小加工特征线条尺寸10nm，兼容6英寸-4英寸-2英寸-不规则小片，提供器件设计和工艺加工的全套解决方案。

中科院微电子研究所——8吋MEMS中试线

2016年，中科院微电子所建立了MEMS研发平台，其8吋MEMS中试线工艺稳定性达到98%；针对三轴重力加速度计、基于氧化钒的红外图像传感器、医用CT中X-ray探测、基于薄膜体声波滤波器（FBAR）、MEMS红外探测器等产品。该MEMS中试线可灵活、高效地对外提供特种工艺和小批量生产服务及详细工艺方案。

中科院上海微系统所——MEMS生产线

上海微系统所传感技术联合国家重点实验室从1987年成立至今，一直以来以微电子技术和微纳加工技术为基础开展各类微纳传感器和微系统的研究工作。在国家重点实验室的1600平方米净化实验室中，实验室以双面光刻机、硅片键合机、DRIE硅深刻蚀机等为基础开发了体微机械加工技术除了在芯片上的集成制造，实验室开发了传感器先进封装技术。

在4吋芯片微纳加工线上，实验室还配有各种在线和离线微纳制造表征测试设备：包括各种微纳瓷都的膜厚、台阶、应力、红外三维成像等等在线制造检测设备，也包括冷场发射高分辨扫描电镜、普通透射电镜的基础部分等离线制造表征设备，它们可以有效地为MEMS/NEMS技术的开发提供有监控手段。

淄博高新区——6吋MEMS中试线

作为国内首条6吋硅基MEMS中试代工平台于2016年5月17日通过国家质量管理体系认证，并于2016年6月20日通过教育部成果鉴定，鉴定成果为国际先进。MEMS平台投资1.6亿人民币，厂房面积4996平，洁净面积达1500平，超净面积和规模位居山东省、全国前列。

该中试线由清华大学、淄博高新区MEMS研究院和国高(淄博)微系统科技有限公司共同完成。已具备MEMS陀螺、加速度计、继电器/开关器件标准中试代工初步能力，完成45个单项工艺和19个产品工艺。

广州奥松电子——6吋MEMS半导体传感器芯片生产线

2020年，广州奥松电子有限公司（简称“奥松电子”）6吋MEMS半导体传感器芯片生产线正式投入运营，成功量产出温湿度、流量、气体、差压、风速等传感器芯片。

奥松电子MEMS半导体生产线一期工程为500纳米MEMS半导体工艺制程，生产设备约占整个投资规模的70%。根据规划，2021年二期工程将建成350纳米制程工艺MEMS半导体生产线；2022年三期工程将建成180纳米制程工艺MEMS半导体生产线；总项目全部建成投产后，每月流片规模将达到4万片，满足奥松电子自身需求及粤港澳大湾区各类MEMS半导体芯片的代工需求。

赛微电子——8吋MEMS国际代工线

赛微电子于2016年收购全球MEMS代工厂中排名第二的瑞典Silex，可生产加速度传感器、惯性传感器、流量传感器、红外传感器等多种MEMS传感器，光学器件、生物器件、硅麦克风等多种MEMS器件，以及各种MEMS基本结构模块。瑞典产线在 2017-2020 年进行了超过 3 亿元人民币的资本投入，2020 年 9月，瑞典原有 6 吋产线（FAB1）升级切换成 8吋产线，合计 MEMS 晶圆产能提升至 7,000片/月的水平。

图：赛微电子董事长、总经理杨云春手持北京FAB3生产的8吋MEMS麦克风晶圆

获得对Silex的控股后，赛微电子在北京建设了MEMS晶圆代工厂，以扩大该公司的产能。2021年6月10日正式启动量产，北京 MEMS 产线的建设总产能为 3 万片/月。

中芯集成电路制造（绍兴）——8吋MEMS生产线

2018年3月1日，中芯绍兴项目举行签约仪式，项目首期投资58.8亿元人民币。2018年5月18日，中芯绍兴8吋厂房项目举行奠基仪式。2019年11月，绍兴的生产线顺利投产，2020年在绍兴举办的集成电路产业峰会上，中芯介绍称，绍兴的产能达到每月4万片。中芯国际的MEMS方案主要集中在MEMS麦克风、加速度计、陀螺仪、压力、显微镜、超声波传感器、射频器件。

华润微电子——6吋、8吋MEMS生产线

华润微电子MEMS产线是国内规模最大的与CMOS生产线兼容的MEMS传感器量产生产线，并已自主研发多套具有国内领先水平的 MEMS 表面和体硅加工技术，用于制造压力、硅麦克风、光电、温湿度等MEMS传感器。

公司IPO募投项目中，8吋MEMS的3000片/月产能扩充已经完成，可以投入使用。公司光电及MEMS麦克风工艺平台从6吋升级到8吋，实现批量生产，产品性能及良率水平优秀；整体提升了公司MEMS工艺技术水平和竞争能力。

华虹宏力——8吋CMOS-MEMS制造平台

华虹宏力工艺技术覆盖1微米至90纳米各节点，在标准逻辑、嵌入式非易失性存储器、混合信号、射频、高压、图像传感器、电源管理、功率器件工艺等领域形成了具有竞争力的先进工艺平台，并正在建立微机电系统（MEMS）工艺平台。

华虹宏力在8吋CMOS-MEMS制造平台上，成功实现了MEMS器件与标准CMOS工艺及生产线的全兼容，可为客户提供单芯片集成CMOS-MEMS体硅和表硅工艺。已流片的产品包括磁力计、加速度计、压力传感器等。

上海先进（并入积塔半导体）——MEMS生产线

上海先进（并入积塔半导体）是国内最早从事汽车电子芯片、IGBT芯片和MEMS芯片制造的企业。目前，拥有5吋、6吋、8吋晶圆生产线和MEMS独立生产线各一条，专注于模拟电路、功率器件和MEMS芯片的制造。

2011年9月MEMS生产线建成三轴陀螺仪工艺平台（就是手机上用方向传感器）。其MEMS 生产线可以代工的器件包括：三轴陀螺仪、加速度计、生物MEMS芯片、光学MEMS、RF MEMS、微流体开关、压力传感器等，可被广泛应用于消费电子，医疗电子以及汽车电子等领域。目前，此MEMS生产线拥有世界最先进的深槽刻蚀、键合、硅片边缘修整等设备，设计月产量可达3000片。

睿创微纳——8吋MEMS晶圆生产线

睿创微纳是一家专业从事非制冷红外热成像与MEMS传感技术开发的半导体集成电路芯片企业，2020年7月24日，与烟台开发区签署协议，建设一条8吋MEMS工艺线和一条化合物半导体工艺线，满足研发和中试要求。睿创微纳采用与晶圆代工厂共建产线的模式，8吋MEMS晶圆生产线已投入量产（非制冷红外热成像探测器芯片），产能达到每月1500片晶圆，可年产各类芯片360万颗。

河北美泰——6吋MEMS生产线

河北美泰拥有6吋MEMS生产线，主要产品有惯性、测试测量传感器、压力、汽车传感器、RF器件、光MEMS器件等。美泰科技的6吋MEMS生产线总投资超过1亿美元，是一个以生产高端MEMS产品为主的全新自动化产线。该新产线的月产能达到1万片。

图：美泰科技生产的6吋MEMS晶圆

罕王微电子—— 8吋MEMS生产线

罕王微电子作为国际一流的专注于MEMS传感器IDM制造商之一，拥有先进的8吋MEMS芯片产业化规模生产线，工艺能力涵盖MEMS芯片生产全流程。2016年，罕王微电子收购美信旗下MEMS传感器业务，2018年底 8吋MEMS生产线工程建设全部竣工，达产后可实现年产能36万片、30亿只MEMS芯片，可生产MEMS压力及应力、加速度、陀螺仪、流量、温度、湿度及气体等传感器。

西人马——8吋兼容6吋MEMS智能传感器芯片产线

西人马公司泉州MEMS芯片及传感器生产线车间，配备8吋向下兼容6吋的MEMS智能传感器芯片产线和中国先进的MEMS器件加工平台，拥有6000平方米的高等级洁净车间，具备深硅刻蚀、键合、光刻、原子力显微镜、扫描电镜等先进的制造、封装与检测设备，具备一体化的量产能力。

产品包括高精度硅压力传感芯片、中温和高温压力芯片、陀螺仪芯片等。西人马已经成为国内MEMS领域IDM芯片公司的鳌头，红外和压力传感器每日产量可以达到几十万颗。

诺思微系统——6吋MEMS晶圆生产线和4吋工艺研发线

诺思微系统是一家从事无线通信射频前端MEMS芯片、模块应用方案设计研发生产销售的高科技公司。已投产一条6吋的MEMS晶圆生产线和一条4吋的工艺研发线，天津厂房和研发中心总占地面积2.7万平方米。采用硅衬底的微机电系统(MEMS)制造技术的FBAR射频滤波器，月生产能力达到3000万只芯片。

今年3月，作为国内唯一具备大规模量产交付能力的平台，诺思牵头国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”专项项目“硅基MEMS压电薄膜及器件关键技术与平台”正式启动，未来3年内诺思的量产产线将力争达到年产20亿颗芯片的产能规模，为解决高端射频滤波芯片的国产供应提供保障。

芯动科技——6吋MEMS生产线

浙江芯动科技有限公司创立于2017年4月，是一家专注高端MEMS代工的生产加工企业。拥有6吋MEMS芯片产业化生产线，工艺能力涵盖MEMS芯片生产全过程，可生产压力、加速度计、陀螺仪，光镜和生物医学等MEMS传感器芯片产品。2018年10月生产出首批产品。据此前相关介绍，芯动科技投产后，生产能力可达年产400万颗芯片，年产值可达4亿元。

据去年11月官方消息显示，芯动科技目前已投入1亿多用于产线的建设，计划联合资本方在未来2-3年投入5亿元人民币继续完善制造基地的相关设备设施。该基地目前建筑面积为3000平方米，是中国最先进的MEMS器件加工平台之一，具备芯片制造、封装测试等一系列的能力。

启泰传感科技——MEMS压敏传感芯片生产线

启泰传感科技作为传感器产业的龙头企业，坐拥6千多平方米、洁净度达100级的压敏芯片厂。MEMS压敏传感芯片生产线于 2019 年 1 月 16 日成功通线， 2019 年 8 月份实现批量生产，年产压敏传感芯片50万颗，第一期达产后可年产芯片600万颗。

项目一期投资1.8亿元，占地面积约35亩，建设总用地面积2 万多平米，6千多平方米的洁净压敏芯片厂，黄光区洁净度100级， 其它功能区1000级，精密机械加工区10000级。目前，启泰传感科技正在规划专为汽车产业研发的第二条金属基压敏芯片生产线，生产线达产后，将年产压敏芯片3000万颗，生产水平达到工业4.0的标准。

士兰微——MEMS传感器芯片生产线

士兰微自1997年成立以来，实现了芯片设计、制造、封测等环节的一体化布局，为逐步发展成为MEMS IDM供应商奠定了坚实的基础。自2010年开始，士兰微电子投入大量资金，通过对加速度传感器、地磁传感器、压力传感器等一系列传感器产品的开发，在6吋、8吋芯片生产线上实现了批量制造能力，并建立自己的MEMS封测生产线，初步走通了系列传感器的IDM发展之路。

MEMS传感器方面，士兰微已推出三轴加速度计、三轴地磁传感器、六轴惯性传感器、空气压力传感器、红外光感传感器、硅麦克风、心率传感器等MEMS传感器产品，紧跟移动智能终端和穿戴式产品发展的步伐。

高德红外——8吋MEMS生产线

高德红外已建成 8 吋 0.25um 批产型 MEMS 生产线，是国内唯一一条自主可控且具备批产能力的非制冷红外焦平面探测器生产线。设计生产能力，器件水平和产业化能力居于国内领先国际先进地位。2019年高德红外进一步投入扩充了晶圆级探测器芯片产线产能，设备已基本到位并调试完毕，后续将加大量产晶圆级封装产品的供货能力，同时扩展晶圆级产品从高中低端的全面覆盖，满足各类客户需求。

附：